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免退火製程 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：氮化鈧鋁；128°Y-X 鈮酸鋰基板；表面聲波濾波器元件；快速升溫退火製程. 壓電性且可在高溫狀態下使用。另一方面，為了提升薄膜的壓電性質，摻雜鈧元素於氮化鋁 ...

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