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工研院微波退火技術入圍全球百大科技獎 - 奇摩新聞

結合工研院、交通大學、國家奈米元件實驗室研發的「半導體微波退火」技術，使用的2.45GHz微波管頻率與家用微波爐相似，可提升半導體製程良率，這項 ...

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