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工研院微波退火手藝入圍全球百大科技獎 - nalgcrystr

連系工研院、交通大學、國家奈米元件實驗室研發的「半導體微波退火」手藝，利用的2.45GHz微波管頻率與家用微波爐類似，可晉升半導體製程良率，這項 ...

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