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材料科學與工程學系 - 國立交通大學機構典藏

藉著改變快速熱退火各個不同的參數，如溫度、持溫時間、升. 溫速率，來探討哪些因素影響複晶矽的成長。接下來，選取適合的參數. 來製作元件，並與以爐管製程的元件做比較。

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