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製程真空系統
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高真空釋氣系統(High Vacuum Outgas Oven) - ETAI Tech. 毅 ...
在半導體製程或高真空應用上,都要求零組件不含揮發性物質的污染物,其中附著於零組件表面的水氣是最常見的污染物,要從零組件中去除此類污染物最常使用的就是真空設備除氣 ...
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