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半導體真空幫浦轉子之設計與模型製作

真空 幫浦在工業上的應用有愈來愈廣的趨勢，如半導體製程中的薄膜沉積或 ... 用兩階段抽氣，亦即應用兩種不同的泵浦串聯抽真空，則氣體從系統內較低氣壓.

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