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實驗一真空鍍膜系統之認識

認識真空系統的基本結構，了解其工作原理，並熟悉其基本操作。 二、實驗儀器 ... 因為體積流量會隨壓力與溫度而改變，並不是很精準，所以製程用的氣體流.

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