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電子廠廠務真空泵變頻節能實務 - 機械工業網

電子廠中半導體與光電廠廠務設施中使用100 mbar粗略真空作為製程使用，傳統定速 ... 本文主要針對近年來輔導國內電子廠進行馬達動力系統(真空泵系統)節能改善成為示範 ...

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