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製程真空系統
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半導體/平面顯示器產業用之真空幫浦發展現況
三、基本真空系統架構. 目前在半導體及平面顯示器產業用的真. 空製程系統架構檢圖如圖二所示,主要包含有. 真空腔體、高真空幫浦(渦輪分子幫浦、冷凍.
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