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表面粗糙度標準片
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奈米技術計量標準計畫九十二年度執行報告
標準之校正方法」研究報告一篇。 •撰寫符合ISO 5436 之階高定義的階高計算程. 式;及完成表面粗糙度濾波程式及條紋分析. 法程式之撰寫;及以VLSI 表粗標準片分別測.
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「表面粗糙度標準片」
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粗糙度比對片
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