產品特色 · 再現性:1σ=0.03um(鏡面標準片量測) · 雷射光點聚焦:ψ1um(obj.x100) · 載物台精度: (2+4L/1000)um · 長行程工作範圍(客製化可) · XYZ 載台60x60x130 mm · XYZ 解析0.1 ...
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