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表面分析儀器
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選擇適當表面分析儀器抓出製程汙染缺陷- DIGITIMES 智慧應用
因此不建議用EDS進行表面為汙染分析。大於10um汙染物,建議使用X光電子能譜儀(XPS/ESCA)的儀器進行成分與半定量分析;當汙染物小於10um時,建議選擇歐 ...
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