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MEMS悬浮电感在机械冲击下的性能变化机理分析 ... - X-MOL

本文通过理论分析与实验相结合的方法，分析了MEMS悬浮电感在机械冲击下性能变化的机理。提出了基于集总等效模型的理论分析，并进行了冲击试验。冲击测试表明，机械冲击后 ...

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