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電漿蝕刻原理

接通蚀刻电源后，从而达到蚀刻的目的。 蝕刻反應離子蝕刻（英文：Reactive-Ion Etching，或簡寫為RIE）是一種半導體生產加工工藝，它利用由電漿體 ...

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