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設備作業標準(CF-E10 8 吋前段多晶矽及介電層乾式蝕刻機台)

2. 設備負責人負責機台的異常處理，維持生產正常運轉。 3. 執行人員資格：經過8 吋前段多晶矽與介電層蝕刻機操作評鑑合格之蝕刻部門人員。

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