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某晶圓廠區域洗滌設備異常事件之風險評估與改善對策

端的水洗式之廢氣處理設備處理，較不具經濟效應。該廠使用於乾蝕刻(Dry. Etching)部門，使用的廠牌為Edwards-Zenith，圖2-23 為其Scrubber 外觀。

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