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元智大學1111ME487半導體製程與設備概論

從半導體製造流程開始，接續介紹黃光/蝕刻/薄膜/擴散4大半導體部門製程與設備。並讓同學了解半導體廠務工程與工安防護。讓修課同學對於半導體工廠建立一完整概念。

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