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6、乾貨!老司機帶你利用高中化學知識理解蝕刻(dry etch)選擇比 ...

所謂高選擇比指的是蝕刻薄膜時，上面的掩膜材料（PR or HM）或下面的襯底材料不被蝕刻或較小的被蝕刻。隨著摩爾定律的發展，製程線寬的不斷縮小，高選擇比 ...

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