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爐管氮化矽均勻度改善之研究Study on Improvement of ...

選擇比 是蝕刻材料的蝕刻速率對遮罩或底層速率的比值，控制選擇比通. 常與氣體種類與比例、電漿或偏壓功率、甚至反應溫度有關係。 2.2.5 擴散、離子植入.

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