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注意事項

由於不同曝光機台所使用之光阻厚度不同，不同曝光方式所能蝕刻之最深厚度亦有所不同，需特別注意(可參閱技術資料之蝕刻選擇比). 3本機台裝有終點偵測器，任何蝕刻製程 ...

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