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(12)發明說明書公開本

乾式蝕刻劑電漿化而獲得之電漿氣體,對光阻劑、氧化矽、矽選擇性地蝕刻氮化矽。 指定代表圖: ... 表示之化合物之氣體於SiN膜相對於SiO2膜之選擇比及蝕刻速度方面.

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