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什麼是蝕刻(Etching)？ - Sherry's Blog

在IC晶片裝配時，四項需要蝕刻的材料是單晶矽、多晶矽、介電質（矽氧化物與氮化物）和 ... 溼式蝕刻有高的選擇性、高的蝕刻速率和低的設備成本。

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