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攪拌方式與蝕刻幾何特徵對KOH 矽蝕刻蝕刻速率及表面粗糙度 ...

從實驗結果發現，超音波震盪式的蝕. 刻速率相較於葉片攪拌式來的快。在相同的蝕刻溶液. 與相同的攪拌方式之下，凹槽與島塊的平均蝕刻速率. 並沒有太大 ...

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