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第四章個案分析與結果-以蝕刻技術為例

乾蝕刻最. 大優點即是「非等向性蝕刻（Anisotropic Etching）」，如圖4-2(2)所示。然而，. 乾蝕刻的選擇性卻比濕蝕刻來得低，這是因為乾蝕刻的蝕刻機制基本上是一種物.

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