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蝕刻

選擇性蝕刻 將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層.利用化學反應將薄膜予以加工，使獲得特定形狀的作業稱為蝕刻。 什么叫蚀刻，通常所指的是光化学蚀刻， ...

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