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電漿蝕刻原理

蝕刻(Etching) 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻選擇性蝕刻或整面全區蝕刻選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層Major ...

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