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蝕刻選擇性
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(19)中華民國智慧財產局(12)發明說明書公告本 - Cision
本發明係關於一種選擇性蝕刻奈米結構(10)之方法。此方法包括:提供具有由相對於主要表面. (12)之數個斜面(14)所界定出之主要表面(12)之奈米結構(10); ...
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「蝕刻選擇性」
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