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北美智權報第110期：TRIZ與半導體製程技術(二)

本案所討論的「乾蝕刻」(Dry Etching)技術是半導體元件製程的重要步驟之 ... 其蝕刻「選擇性」(或稱選擇比，Selectivity)則遜於濕蝕刻技術，本案中 ...

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