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高屏地區奈米核心設施建造

(二)選擇性的材料蒸鍍(Selective Deposition)－提供碳、金屬鎢(Tungsten, W)和氧化層 (TEOS) 的沉積。 (三)強化性蝕刻或選擇性蝕刻(Enhanced Etching or Selective ...

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