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利用矽晶片製造與整合微系統的思維與架構

晶平面影響的非等向性蝕刻，是應用最廣泛的體矽微加工蝕刻技術。一般而言， ... 驟，形成選擇性的熱氧化保護層，使非{111}晶格面之側壁能受到保護。接下來.

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