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蝕刻選擇性
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乾蝕刻
乾式蝕刻反應性離子蝕刻裝置乾式蝕刻非等向性蝕刻與等向性蝕刻抗蝕劑剝離. ... 可控制蝕刻之非等向性選擇性適中化學反應, 速度快等向性蝕刻選擇性較 ...
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