圖2、弘塑科技之單晶圓旋轉蝕刻(Single Wafer Spin Etcher)設備(UFO-300系列)。 ... 要滿足選擇性地蝕刻UBM層,並且不可傷及凸塊(Bump)等需求,這使得UBM蝕刻化學液的 ...
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