微米的圖案蝕刻• 好的選擇性• 廣泛的使用再剝除蝕刻製程,像是氮化物剝除和鈦化物剝除等等. • 亦廣泛的使用在化學氣相沉積薄膜品質控制( 緩衝二氧化矽蝕刻;BOE) • 測試晶圓 ...
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