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蝕刻選擇性
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可保護半導體晶圓免受氫氟酸等蝕刻溶液影響之材料 - 材料世界網
目前在提高蝕刻選擇比的方法中,在目標位置選擇性形成薄膜的「區域選擇性沉積法(Area Selective Deposition; ASD)」備受關注。利用此項手法可以選擇性 ...
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「蝕刻選擇性」
的人也找了:
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