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蝕刻選擇性
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選擇性蝕刻産品系列 - Lam Research
Lam 推出的選擇性蝕刻解决方案能夠從晶圓表面等向性地去除材料,不會改造或損壞週邊的材料。具備超高選擇性和埃米等級精密度的選擇性蝕刻解决方案,是Lam專為滿足晶片 ...
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