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感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用

表面分別製作正光阻(AZ 4620)、負光阻(KMPR). 及金屬(Al) 之蝕刻遮罩(etching mask)，再由蝕刻. 機台對石英基板進行選擇性乾式蝕刻，藉由調整氣. 體成分比例、腔體壓力與 ...

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