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泛林集团状告韩国设备商“斜面蚀刻机”侵权_相关 - 搜狐

集微网消息，美国半导体设备巨头泛林集团（Lam Research）声称， ... 拥有与斜面蚀刻机相关的技术，该公司后来被韩国设备厂商Charm Engineering收购， ...

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