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前瞻基礎建設－數位建設 - 中華民國經濟部

發關鍵儀器設備，扶植民間半導體設備先進封裝曝光機廠商、原子層蝕刻設備廠商等投入，. 建立國內半導體製程高階儀器設備使用國產設備之趨勢與群聚。

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