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歷年創新產品獎得獎產品-創新研發 - 新竹科學園區管理局

『G10.5濕式蝕刻設備』為對應次世代G10.5基板(2970x3340mm)金屬濕式蝕刻設備，運用於Cu蝕刻、AL蝕刻、ITO蝕刻、IGZO蝕刻製程，採用Conveyor滾輪傳送， ...

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