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中微成功研發出第二代單反應台等離子體蝕刻設備 - EDN Taiwan

除了韓國客戶以外，臺灣、日本和其他地區的晶片生產廠商也對中微的Primo SSC AD-RIE蝕刻設備表示了極大的興趣。事實上，20納米及以下乾法蝕刻所伴隨的 ...

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