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數位建設Å 世代半導體-先端技術與產業鏈自主發展計畫 ... - 行政院

協助國內設備廠商進行硬體改善、參數調整及優化、產能效率提升，累 ... 擴散、清洗、蝕刻、塗佈、罩幕、曝光、光刻、蒸鍍、濺鍍、離子佈植、連線、被.

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