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第五章晶圓製程設備產業智慧資源規劃實證研究第一節主要設備 ...

壹、 廠商動態. 一、 公司概況. 在實証研究對象選擇上，本研究以占晶圓製程5 成以上的薄膜、擴散與蝕刻. 的設備商為主，包括Applied Materials (AMAT)、Tokyo ...

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