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蝕刻製程ppt - 翻黃頁

蝕刻 (Etching). ▫ . 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. ▫ . 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫ . 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層.

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