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Microsoft PowerPoint Chapter 2 IC製程技術

23 溼式蝕刻光阻薄膜溼蝕刻(wet etching) 基板基板蝕刻是緊接著微影後的一個重要製程, 當微影步驟將光罩上的圖案轉移到光等向性蝕刻阻後就可以進行蝕刻, 此時薄膜上黏 ...

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