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塑膠微透鏡陣列薄膜的創新製造技術

(Dr. Chih-Yuan Chang). 二元型多光罩的半導體蝕刻法. 此製程需要多道光微影蝕刻及薄膜沈積過程，必須有精準. 的對位及曝光顯影技術，並且配合RIE乾蝕刻製程，才能.

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