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基礎半導體IC製程技術

IC製程簡介與其他產業應用. ○ 矽晶的性質與加工成型. ○ CMOS的結構與作用原理. ○ 基礎半導體IC製程模組. □薄膜沈積. □黃光微影製程. □溼式與乾式蝕刻.

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