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蝕刻製程
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興櫃又添新生力軍鋒魁科技搭上成長列車大吃半導體商機 - 信傳媒
以半導體業為例,因製程要求環境潔淨度嚴苛,必須利用高速率真空幫浦抽氣產生負壓的潔淨環境,才可完成化學氣相沉積製程;因薄膜沉積或乾蝕刻製程等,均 ...
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