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微电子材料与制程第五章半导体蚀刻技术 - 百度文库
早期半导体制程中所采用的蚀刻方式为湿式蚀刻, 即利用特定的化学溶液将待蚀刻薄膜未被光阻覆盖的部分分解,并转成可溶于此溶液的化合物后加以排除, ...
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