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乾蝕刻半導體製程簡介 - Thomblake

乾蝕刻半導體製程簡介. 這是因為乾蝕刻的蝕刻機制基本上是一種物理交互作用；因此離子的撞擊不但可以移除被蝕刻的薄膜， Glass，晶圓上會塗上一層光阻劑或硬罩(通常是 ...

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