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蝕刻製程
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〈分析〉一文看懂半導體設備景氣、種類及主要大廠 - 鉅亨
半導體製程中有兩種基本的蝕刻工藝:濕式與乾式,乾式則為全球主流技術。而蝕刻機主要生產大廠為Lam、AMAT 及東京電子。 至於薄膜設備(氣相沈積) 市場 ...
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